고성능 메카트로닉스의 설계

역자 서언

서언

Chapter 1. 네덜란드의 첨단산업과 메카트로닉스

1 - 1 서언
1 - 2 역사적 배경
1 - 3 정의와 국제적인 위상
1 - 4 시스템엔지니어링과 설계

Chapter 2. 메카트로닉스 시스템의 응용 물리학

2 - 1 서언
2 - 2 역학
2 - 3 전기와 자기
2 - 4 신호이론과 파동의 전파
2 - 5 동적 시스템 해석

Chapter 3. 운동 시스템의 동특성

3 - 0 서언
3 - 1 강성
3 - 2 감쇠가 있는 스프링 - 질량 시스템
3 - 3 모달해석
3 - 4 기계적 주파수 응답
3 - 5 동적 시스템 요약

Chapter 4. 운동제어

4 - 0 서언
4 - 1 제어루프 주변 탐구
4 - 2 전향제어
4 - 3 PID 귀환제어
4 - 4 디지털 제어
4 - 5 상태공간제어의 표현
4 - 6 선형 귀환제어의 한계
4 - 7 운동제어에 대한 결론

Chapter 5. 전기기계식 작동기

5 - 1 서언
5 - 2 전자기
5 - 3 로렌츠 작동기
5 - 4 가변 릴럭턴스 작동기
5 - 5 전자석 작동기의 적용
5 - 6 전기적 변환
5 - 7 압전형 작동기

Chapter 6. 메카트로닉스 시스템의 아날로그 전자회로

6 - 1 서언
6 - 2 수동전자회로
6 - 3 반도체와 능동 전자회로
6 - 4 전력증폭기

Chapter 7. 메카트로닉스 시스템의 광학

7 - 1 서언
7 - 2 빛과 광원의 성질
7 - 3 반사와 굴절
7 - 4 기하광학
7 - 5 물리광학
7 - 6 능동광학

Chapter 8. 메카트로닉스 시스템의 측정

8 - 1 서언
8 - 2 동적 오차할당
8 - 3 센서 신호의 민감도
8 - 4 신호조절
8 - 5 신호처리
8 - 6 단거리 운동센서
8 - 7 기계적 동특성의 측정
8 - 8 광학식 원거리 증분식 위치센서

Chapter 9. 웨이퍼 스캐너의 정밀 위치결정

9 - 1 서언
9 - 2 동적 구조
9 - 3 영강성 스테이지 구동
9 - 4 위치측정
9 - 5 운동제어
9 - 6 IC 노광기의 향후 개발전망
9 - 7 정밀설계의 주요 원칙들

부 록

01. 레퍼런스와 추천도서
02. 참고문헌
03. 부호와 약자들
04. 색인