진공측정 핸드북

Chapter01 진공측정 개요
1. 진공 일반 1
2. 기체의 일반적 성질 2
3. 기체에 대한 압력의 영향 3
4. 기체에 대한 온도의 영향 4
5. 진공상태의 기체 조성 5
6. 단위 6
7. 토리첼리 진공 7
8. 진공의 정도 8
9. 기체의 평균자유거리 8
10. 누센수 9
11. 압력의 종류 10
12. 이상기체방정식 11
13. 기체의 분자량 12
14. 진공기술의 발전 13

Chapter02 진공 게이지의 분류
1. 개발기술 요약 15
2. 측정방법에 의한 분류 16
3. 측정범위에 의한 분류 18
4. 특성에 의한 분류 18

Chapter03 액주형 압력계
1. U-관 압력계 21
2. 멕레오드 게이지 23
2.1 제곱눈금 25
2.2 선형눈금 26
3. 초음파간섭 및 광간섭 수은주 압력계 27

Chapter04 기계식 및 방전관 게이지
1. 부르돈관 게이지 29
2. 공진형 실리콘 게이지 30
2.1 원리 30
2.2 특성 31
3. 방전관 게이지 33
4. 압전 게이지 34

Chapter05 용량형 격막 게이지
1. 원리 37
2. 특성 41
2.1 절대압 게이지 및 차압 게이지 41
2.2 센서의 구성 및 재료 42
2.3 과압의 영향 43
2.4 열천이 효과 43
2.5 교정 46

Chapter06 열전도형 게이지
1. 개요 49
2.1 원리 49
2.2 열손실 전달현상 51
2. 종류 52
2.1 피라니 게이지 52
2.2 열전대 게이지 54
2.3 컨벡션 게이지 55
3. 특성 56
3.1 직선성 및 기체감도 56
3.2 압력측정 범위 57

Chapter07 열음극 이온 게이지
1. 원리 59
2. 종류 61
2.1 3극관형 게이지 61
2.2 베이어드-앨퍼트 게이지 63
2.3 Extractor 게이지 66
2.4 Stabil-ion 게이지 68
2.5 Micro-ion 게이지 70
2.6 AxTRAN 게이지 71
2.7 누드 게이지 73
3. 특성 74
3.1 필라멘트 74
3.2 감도 75
3.3 탈기체 76
3.4 X-선 효과 77
3.5 ESD 효과 78
3.6 기체 방출 79
3.7 게이지 배기 80

Chapter08 냉음극 이온 게이지
1. 원리 81
2. 종류 82
2.1 페닝 게이지 82
2.2 마그네트론 게이지 83
2.3 역 마그네트론 게이지 84
3. 특성 86

Chapter09 스피닝로터 게이지
1. 원리 87
2. 특성 89
2.1 헤드의 구조 89
2.2 Offset의 측정 90
2.3 적응계수의 장기안정성 91
2.4 압력구간별 적응계수 92
2.5 온도별 적응계수 92
2.6 최대도달압력 특성 93
2.7 신호분산 특성 94

Chapter10 진공 표준 및 측정기술
1. 진공 표준 95
1.1 초음파간섭 수은주 압력계 96
1.1.1 개요 96
1.1.2 초음파 간섭원리 98
1.1.3 UIM 구성 100
1.2 정적법 중진공 표준기 102
1.2.1 원리 102
1.2.2 장치 구성 104
1.3 정압법 고진공 및 초고진공 표준기 106
1.3.1 원리 106
1.3.2 장치 구성 107
1.3.3 Porous plug 콘덕턴스 측정 108
1.4 불확도 평가 109
1.4.1 A형 불확도 110
1.4.2 B형 불확도 110
1.4.3 지시계 불확도 111
1.4.4 합성표준 불확도 111
1.4.5 확장 불확도 111
1.5 국제비교 및 상호비교 113
1.5.1 개요 113
1.5.2 저진공 및 고진공 KC 114
1.5.3 UIM 및 정적법 표준기 상호비교 115
2. 측정기술 117
2.1 개요 117
2.2 동적 교정장치 기체흐름 118
2.3 오리피스 구조 및 콘덕턴스 119
2.4 동적 교정장치 국제규격 121
2.5 산업체 보급용 교정장치 121
2.6 교정분류 요약 122
3. 소급성 및 인증제도 123
4. ISO TC 112 활동 124
4.1 진공기술위원회 124
4.2 한국의 활동 126

Chapter11 부분압 측정
1. 개요 129
2. 이온 생성기 130
2.1 열린 이온 생성기 131
2.2 닫힌 이온 생성기 132
2.3 분자빔 이온 생성기 133
3. 질량분석기 134
3.1 사중극 질량분석기 135
3.2 비행시간법 질량분석기 137
3.3 자장형 질량분석기 139
4. 이온 검출기 141
4.1 페러데이컵 141
4.2 2차전자 증배관 142
5. 잔류기체 스펙트럼 해석 143

Chapter12 질량유량계
1. 개요 147
2. 구조 148

Chapter13 리크 검출 기술
1. 개요 151
1.1 리크 151
1.2 리크의 특성 153
1.3 리크 방지를 위한 진공장치 설계제작 시 고려사항 154
1.4 도달압력과 리크의 연관성 155
2. 리크 검출 기술 156
2.1 리크의 분류 및 검출방법 156
2.2 가상 리크 및 실제 리크 157
2.3 기포검사법 159
2.4 진공 게이지 이용법 160
2.5 RGA 스펙트럼 분석법 161
2.6 흡입탐침법 161
2.7 헬륨분사법 162
3. 헬륨 리크 검출기 163
3.1 개요 163
3.2 튜닝과 교정 164
4. 교정 리크 164
4.1 개요 164
4.2 절대교정 166
4.3 비교교정 167

부록
부록 1 Q & A 100 171
부록 2 진공 용어 203
부록 3 진공 기호 229
부록 4 압력단위 환산표 235
부록 5 유량단위 환산표 236
부록 6 플렌지 규격 비교 237
부록 7 고도와 압력 237
부록 8 고도와 기체 조성 238
부록 9 한국진공연구조합 회원사 239

참고문헌 247
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