김홍배  | 우용출판사

0원  | 20130117  | 9788962490756

박막기술의 기초가 되는 진공과학으로부터 시작하여 박막의 전자부품에서 응용에 이르기까지 박막공학의 여러 분야를 기초 개념부터 제작기술까지 설명하는 『박막공학』. 진공의 기초 원리, 진공을 형성하는데 필요한 진공펌프를 종류별로 이야기하며, 진공도를 측정할 때 쓰이는 진공게이지를 다루는 등 박막공학에 대한 이해를 돕는다. 가능한 원어를 한글로 표기하고자 하였고, 부득이한 경우에는 원어로 표기하였으며 많은 그림과 데이터를 제공하고 있다.