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Photomask Fabrication Technology (Hardcover)

Banqiu Wu, Benjamin G. Eynon, Jr., Benjamin G. Eynon, Jr. (지은이)

McGraw-Hill Professional Pub

260,920원

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책 정보

· 제목 : Photomask Fabrication Technology (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 제조
· ISBN : 9780071445634
· 쪽수 : 500쪽
· 출판일 : 2005-08-01

Introduction

Data Preparation and Design

Pattern Generation

Pattern Transfer

Photomask Metrology

Defect Control and Finishing

Inspection, Repair, and Cleaning

Resolution Enhancement Techniques

Water Fabrication Issues

Future Developments

Appendices

References

저자소개

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목차

Introduction

Data Preparation and Design

Pattern Generation

Pattern Transfer

Photomask Metrology

Defect Control and Finishing

Inspection, Repair, and Cleaning

Resolution Enhancement Techniques

Water Fabrication Issues

Future Developments

Appendices

References

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