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책 정보
· 제목 : Chemical Mechanical Polishing in Silicon Processing (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 과학/수학/생태 > 과학 > 물리학 > 전기
· ISBN : 9780127521725
· 쪽수 : 307쪽
· 출판일 : 1999-10-15
· 분류 : 외국도서 > 과학/수학/생태 > 과학 > 물리학 > 전기
· ISBN : 9780127521725
· 쪽수 : 307쪽
· 출판일 : 1999-10-15
