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책 정보
· 제목 : Micro and Nanomanufacturing (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 기계공학
· ISBN : 9780387258744
· 쪽수 : 699쪽
· 출판일 : 2006-11-01
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 기계공학
· ISBN : 9780387258744
· 쪽수 : 699쪽
· 출판일 : 2006-11-01
목차
Principles of Micro- and Nanofabrication.- Microfabrication Using X- ray Lithography.- Manufacturing High Aspect Ratio Microstructures.- Meso-Micromachining.- Mechanical Micromachining.- Microgrinding.- Diamond Microcutting Tools.- Laser Micro- and Nanofabrication.- Micromachining Using Pulsed Water Droplets.- Diamond Nanogrinding.- Nanomachining.- Micro-and Nanomanufacturing.
