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책 정보
· 제목 : Physical Vapor Deposition of Thin Films (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 기술제조업
· ISBN : 9780471330011
· 쪽수 : 340쪽
· 출판일 : 2000-02-01
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 기술제조업
· ISBN : 9780471330011
· 쪽수 : 340쪽
· 출판일 : 2000-02-01
목차
Introduction to Physical Vapor Deposition.
The Kinetic Theory of Gases.
Adsorption and Condensation.
Principles of High Vacuum.
Evaporation Sources.
Principles of Sputtering Discharges.
Sputtering.
Film Deposition.
Index.
