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책 정보
· 제목 : Microsensors, Mems, and Smart Devices (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전기공학
· ISBN : 9780471861096
· 쪽수 : 522쪽
· 출판일 : 2001-12-27
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전기공학
· ISBN : 9780471861096
· 쪽수 : 522쪽
· 출판일 : 2001-12-27
목차
Introduction
Electronic Materials and Processing
MEMS Materials and their Preparation
Standard Microelectronic Technologies
Silicon Micromachining:Bulk
Silicon Micromachining: Surface
Microstereolithography for MEMS
Microsensors
Introduction to SAW Devices
Surface Acoustic Waves in Solids
IDT Microsensor Parameter Measurement
IDT Microsensor Fabrication
IDT Microsensors
MEMS-IDT Microsensors
Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index
