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책 정보
· 제목 : Plasma Processes for Semiconductor Fabrication (Hardcover) 
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 일반
· ISBN : 9780521591751
· 쪽수 : 232쪽
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 일반
· ISBN : 9780521591751
· 쪽수 : 232쪽
목차
1. Introduction; 2. Plasma processes and semiconductors; 3. Plasma electromagnetics and circuit models; 4. Plasma models; 5. Plasma chemistry; 6. Transport at long mean free path; 7. Evolution of the trench; 8. Physical description of the plasma; 9. Going further; 10. Glossary.
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