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Wafer Fabrication: Factory Performance and Analysis (Hardcover, 1996)

Linda F. Atherton, Robert W. Atherton (지은이)

Kluwer Academic Pub

404,970원

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Wafer Fabrication: Factory Performance and Analysis

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책 정보

· 제목 : Wafer Fabrication: Factory Performance and Analysis (Hardcover, 1996)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 반도체
· ISBN : 9780792396192
· 쪽수 : 468쪽
· 출판일 : 1995-11-30

About the authors. Preface. 1. Introduction to the Electronic Industry. 2. Factory Phenomena. 3. Processes for Wafer Fabrication. 4. Fab Graphs and Static Analyses. 5. Factory Performance Basics. 6. Advanced Performance Concepts. 7. Factory Modeling. 8. Cluster Tools. 9. Performance Economics. Index.