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책 정보
· 제목 : Handbook of Semiconductor Silicon Technology (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 반도체
· ISBN : 9780815512370
· 쪽수 : 816쪽
· 출판일 : 1990-12-31
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 반도체
· ISBN : 9780815512370
· 쪽수 : 816쪽
· 출판일 : 1990-12-31
목차
Silicon Precursors: Their Manufacture and Properties
Polysilicon Preparation
Crystal Growth of Silicon
Silicon Wafer Preparation
Silicon Epitaxy
Silicon Material Properties
Oxygen, Carbon and Nitrogen in Silicon
Carrier Lifetimes in Silicon
Preparation and Properties of Polycrystalline-Silicon Films
Silicon Phase Diagrams
References
Index
