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책 정보
· 제목 : Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and Mems (Hardcover, 2, Revised)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9781437734836
· 쪽수 : 660쪽
· 출판일 : 2012-11-20
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9781437734836
· 쪽수 : 660쪽
· 출판일 : 2012-11-20
목차
- Thin Film and Nano-materials
- Thin Film and Nanomaterial Processes
- Sputtering Phenomena
- Computer Simulation of Sputtering
- Sputtering Systems
- Deposition of Compound Thin Films
- Nanometer Materials and Devices
- Microfabrications
