책 이미지
eBook 미리보기
책 정보
· 제목 : Advances in Cmp Polishing Technologies (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9781437778595
· 쪽수 : 328쪽
· 출판일 : 2011-12-06
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9781437778595
· 쪽수 : 328쪽
· 출판일 : 2011-12-06
목차
Chapter 1: Introduction
Chapter 2: Device fabrication with a silicon crystal substrate
Chapter 3: Ultra-precision technology ? taking silicon single crystal as an example
Chapter 4: Applications of ultra-precision CMP in device processes
Chapter 5: The future of processing technology
Chapter 6: Progress of the semiconductor and silicon industries
Chapter 7: Summary
