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책 정보
· 제목 : Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9781441971203
· 쪽수 : 232쪽
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9781441971203
· 쪽수 : 232쪽
목차
Introduction to Harsh MEMs.- Silicon Carbide Processing.- Silicon Carbide Electronics.- Silicon Carbide MEMS Devices.- Silicon Carbide MEMs Device Packaging.- System Integration.
