책 이미지
책 정보
· 제목 : The Physics of Microfabrication (Paperback, Softcover Repri) 
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 일반
· ISBN : 9781489921628
· 쪽수 : 504쪽
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 일반
· ISBN : 9781489921628
· 쪽수 : 504쪽
목차
1 Preliminary Survey.- 2 Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3 Thin Films.- 4 Pattern Generation.- 5 Special Processes Developed for Microcircuit Technology.- 6 Submicron Microscopy and Microprobes.- 7 Future Directions.- Appendices.- A. The Error Function and Some of Its Properties.- B. Properties of Silicon.- C. Useful Physical Constants in Microscience.- References.
추천도서
분야의 베스트셀러 >