책 이미지
eBook 미리보기
책 정보
· 제목 : Chemical-Mechanical Polishing - Fundamentals and Challenges (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 금속공학
· ISBN : 9781558994737
· 쪽수 : 281쪽
· 출판일 : 2000-02-10
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 금속공학
· ISBN : 9781558994737
· 쪽수 : 281쪽
· 출판일 : 2000-02-10
목차
Part I. Overview and Oxide Polishing; Part II. Pads and Related Issues; Part III. Metal Polishing - W and AI; Part IV. Copper Polishing and Related Issues; Part V. CMP Modeling and Fluid Flow; Part VI. Particle Adhesion and Post-polish Cleaning; Author index; Subject index.
