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책 정보
· 제목 : Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9781605110400
· 쪽수 : 319쪽
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9781605110400
· 쪽수 : 319쪽
목차
Preface; Part I. Ultra Shallow Junctions I; Part II. Shallow Junction Contacting; Part III. Poster Session; Part IV. Ultra Shallow Junctions II; Part V. Solid Phase Epitaxial Regrowth; Part VI. Modeling and Simulation; Author index; Subject index.
