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책 정보
· 제목 : Advanced Concepts and Architectures for Plasma-Enabled Material Processing (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 나노테크놀리지/MEMS
· ISBN : 9781681739120
· 쪽수 : 90쪽
· 출판일 : 2020-09-30
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 나노테크놀리지/MEMS
· ISBN : 9781681739120
· 쪽수 : 90쪽
· 출판일 : 2020-09-30
목차
- Introduction
- Technological Plasmas and Typical Schematics
- Plasma Parameters with Respect to Material Processing
- How to Control Plasma Parameters
- Material Processing
- Perspectives and Trends
- Conclusion
- Authors' Biographies
