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책 정보
· 제목 : CMOS - Mems (Hardcover, 11)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9783527310807
· 쪽수 : 608쪽
· 출판일 : 2005-05-01
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9783527310807
· 쪽수 : 608쪽
· 출판일 : 2005-05-01
목차
Introduction
Fabrication Technology
Material Characterization
CMOS-based Inertial Sensors
CMOS-based Pressure Sensors
CMOS-based Acoustic Sensors
CMOS-based RF-MEMS
CMOS-based Chemical Sensors
CMOS-based Biometric Sensors
CMOS-bassd Biological Sensors
CMOS-based Thermal Sensors
Circuit and System Integration
Assembly and Packaging
