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책 정보
· 제목 : Reliability of Mems: Testing of Materials and Devices (Hardcover) 
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9783527314942
· 쪽수 : 324쪽
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9783527314942
· 쪽수 : 324쪽
목차
Introduction -
Reliability Issues in MEMS
Part I: Mechanical Reliability of MEMS Materials
Mechanical Properties of MEMS Materials
Micro/Nano-Indenters
Bulge Methods
Bending Test using Probe Tools
Uni-axial Tensile Test with Specialized Chucking Methods
On-chip Microstructures
Part II: Reliability of MEMS Devices
Pressure Sensors
Inertial Sensors
RF MEMS
Optical MEMS
저자소개
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