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책 정보
· 제목 : CMOS - Mems (Paperback, 11)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9783527334995
· 쪽수 : 608쪽
· 출판일 : 2014-07-21
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 전자공학 > 마이크로 일렉트로닉스
· ISBN : 9783527334995
· 쪽수 : 608쪽
· 출판일 : 2014-07-21
목차
PREFACE
FABRICATION TECHNOLOGY
MATERIAL CHARACTERIZATION
MONOLITHICALLY INTEGRATED INERTIAL SENSORS
CMOS?MEMS ACOUSTIC DEVICES
RF CMOS MEMS
CMOS-BASED PRESSURE SENSORS
CMOS-BASED CHEMICAL SENSORS
BIOMETRIC CAPACITIVE CMOS FINGERPRINT SENSOR SYSTEMS
CMOS-BASED BIOCHEMICAL SENSING SYSTEMS
CMOS-BASED THERMAL SENSORS
CIRCUIT AND SYSTEM INTEGRATION
SUBJECT INDEX
