Integrierte Mos-Schaltungen (Paperback, 2, 2., Uberarb. Un)

1 Einleitung.- Literatur zu 1.- 2 MOS-Bauelemente.- 2.1 Arten von MOS-Transistoren.- 2.2 MOS-Kondensator.- 2.3 Kapazitat des MOS-Kondensators.- 2.4 Kennlinien des MOS-Transistors.- 2.5 Verfeinerte Theorie.- 2.6 Dynamisches Verhalten.- 2.7 Ladungsverschiebeelemente (CCD).- 2.8 Transistoren mit veranderlicher Schwellenspannung.- 2.9 Rauschen des MOS-Transistors.- 2.10 Temperaturverhalten des MOS-Transistors.- Literatur zu 2.- 3 MOS-Techniken.- 3.1 Aluminium-Gate-Technik mit p-Kanal.- 3.2 Silizium-Gate-Technik mit n-Kanal.- 3.3 Komplementare Techniken.- 3.4 Ionenimplantation.- 3.5 DMOS- und VMOS-Technik.- 3.6 Herstellung der Masken.- 3.7 Feine Strukturen.- Literatur zu 3.- 4 MOS-Grundschaltungen.- 4. 1 Der Inverter in statischer Technik.- 4.1.1 Ubertragungsfunktionen des Inverters.- 4.1.2 Schaltzeiten des MOS-Inverters.- 4.1.3 Storsicherheit.- 4.1.4 Vergleich der verschiedenen Inverterarten.- 4.1.5 Der MOS-Transistor als Transferelement (Transfergatter).- 4.2 Der Inverter in dynamischer Technik.- 4.2.1 Der Inverter mit getakteten Lastelementen.- 4.2.2 Der Bootstrap-Inverter.- 4.3 Bistabile MOS-Schaltungen.- 4.4 MOS-Logik in statischer Technik.- 4.4.1 Einfache Gatter in MOS.- 4.4.2 Addierstufen in statischer Technik.- 4.5 MOS-Logik in dynamischer Technik.- 4.6 MOS-Schieberegister.- 4.6.1 Schieberegister in dynamischer Technik.- 4.6.2 Schieberegister in statischer Technik.- 4.6.3 Zahler.- 4.6.4 Schieberegister fur Analogsignale.- 4.7 Speicherschaltungen.- 4.7.1 Speicher mit dynamischer Informationsspeicherung.- 4.7.2 Speicher mit statischer Informationsspeicherung.- 4.7.3 Speicher mit nichtfluchtiger Informationsspeicherung.- 4.7.4 Peripherieschaltung fur Halbleiterspeicher.- 4.7.5 Strahlungsempfindlichkeit.- 4.8 MOS-Analogschaltungen.- 4.8.1 Das Kleinsignalersatzschaltbild.- 4.8.2. MOS-Analogverstarker.- 4.8.3 MOS-Operationsverstarker.- 4.8.4 Filterschaltungen.- Literatur zu 4.- 5 Entwurfstechnik fur integrierte MOS-Schaltungen.- 5.1 Rechnerunterstutzte Analyseverfahren und -programme.- 5.2 Entwurfsunterlagen.- 5.3 Geometrischer Entwurf (Layout).- 5.3.1 Erstellen des Layouts.- 5.3.2 Hilfsmittel fur die Erstellung des Layouts.- 5.4 Datenaufnahme.- Literatur zu 5.- 6 Schaltungsarten.- 6.1 Festverdrahtete Schaltungen.- 6.2 Programmierbare Schaltungen.- 6.3 Programmgesteuerte Schaltungen.- 6.4 Entwicklungsablauf bei den verschiedenen Schaltungsarten.- 6.5 Die Bedeutung der Software.- 6.6 Abgrenzung der Losungswege.- 6.7 Entwicklungstrends.- 6.8 Ausbeute und Redundanz.- 6.9 Pruffreundlicher Entwurf.- 6.9.1 Grunde fur das Prufproblem.- 6.9.2 Grundprinzipien fur einen pruffreundlichen Entwurf.- 6.10 Analyse integrierter Schaltkreise mit dem Elektronenstrahl.- 6.10.1 Eigenschaften der Elektronensonde.- 6.10.2 Abbildung mit Hilfe des Elektronenstrahls.- 6.10.3 Messung mit Hilfe des Elektronenstrahls.- 6.10.4 Ubersicht uber Prufmethoden.- Literatur zu 6.- 7 Ausblick.- Literatur zu 7.