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책 정보
· 제목 : CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications (Hardcover, 2002)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 기술제조업
· ISBN : 9783540431435
· 쪽수 : 142쪽
· 출판일 : 2002-07-23
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 기술제조업
· ISBN : 9783540431435
· 쪽수 : 142쪽
· 출판일 : 2002-07-23
목차
1. Introduction.- 2. Design Considerations.- 3. Cantilever Beam Resonators.- 4. Resonant Gas Sensor.- 5. Force Sensors for Parallel Scanning Atomic Force Microscopy.- 6. Conclusions and Outlook.- Appendices.- A.1 Process Sequence Resonant Gas Sensor.- A.2 Process Sequence Resonant Gas Sensor (Maskless).- A.3 Process Sequence AFM Sensor Arrays.- A.4 Material Properties of Thin Film Materials.- References.
