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Mikrosystemtechnik: Vom Transistor Zum Biochip (Paperback, 1. Aufl. 2016)

Stephanus Buttgenbach (지은이)

｜

Springer Berlin Heidelberg

2016-11-15

｜

33,390원

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책 정보

· 제목 : Mikrosystemtechnik: Vom Transistor Zum Biochip (Paperback, 1. Aufl. 2016)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 공학일반
· ISBN : 9783662497722
· 쪽수 : 151쪽

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- μTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.