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책 정보
· 제목 : Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes (Paperback, Softcover Repri)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 나노테크놀리지/MEMS
· ISBN : 9783662508268
· 쪽수 : 519쪽
· 출판일 : 2016-10-06
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 나노테크놀리지/MEMS
· ISBN : 9783662508268
· 쪽수 : 519쪽
· 출판일 : 2016-10-06
목차
Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.
