반도체산업 동향과 반도체 장비 공정 기술개발 전략

제1장 반도체산업과 반도체 장비ㆍ공정 기술동향과 정책방향
1. 반도체산업 개요
2. 반도체산업 기술개발 전략과 동향

제2장 반도체장비 관련 핵심기술 개발전략과 과제
1. EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼검사 기술개발
2. 반도체 장비ㆍ재료 성능평가 협력사업
3. 차세대 메모리용 3D 적층 신소자 및 핵심소재 공정 기술개발
4. 포미세 고신뢰성 배선기술 개발

제3장 반도체장비 관련 기술개발 과제와 참여업체 현황
1. 반도체 관련 기술개발 과제현황
2. 반도체 장비 관련업체

제4장 참고자료
1. 2012 IT 시장도향
2.신성장동력 7대 장비산업 지원과제 선정