중소기업 전략기술로드맵 2025~2027 : 반도체장비

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책 정보

· 제목 : 중소기업 전략기술로드맵 2025~2027 : 반도체장비
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 산업공학
· ISBN : 9791129058201
· 쪽수 : 448쪽
· 출판일 : 2025-03-17

책 소개

반도체 제조 공정에 사용되는 것으로 반도체 생산을 위한 준비 단계(반도체 회로설계, 웨이퍼 제조 등)부터 웨이퍼 가공, 칩 생산, 조립·검사 단계까지의 모든 장비를 포함한다.

제1장 전략분야 환경분석
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 품목로드맵

제2장 전략품목 환경분석

전략품목 1. 리소용 부품·소재
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 2. 플라즈마(PVD·Dry Etching·Ashing) 장비·부품
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 3. CVD·ALD 장비·부품
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 4. CMP 공정 소재
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 5. 반도체 세정 장비·부품·소재
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 6. 진공용 부품
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 7. 첨단 패키징 전기도금용 장비·부품·소재
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 8. 반도체 테스트 장비·부품
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵

전략품목 9. 첨단 패키징 장비·부품·소재
제1절 개요
제2절 환경 분석
제3절 특허분석
제4절 기술개발 로드맵