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책 정보
· 제목 : 기초 반도체공학(5판) : 제9장 반도체 단위공정 
· 분류 : 전자책 > 과학 > 공학 > 전기/전자공학
· ISBN : 9791159067419
· 출판일 : 2020-06-25
· 분류 : 전자책 > 과학 > 공학 > 전기/전자공학
· ISBN : 9791159067419
· 출판일 : 2020-06-25
목차
제9장 반도체 단위공정 9.1 산화막 공정 9.2 확산 공정 9.3 이온주입공정 9.4 사진식각 9.5 화학증착 ?연습문제