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책 정보
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 산업공학
· ISBN : 9791161822501
· 쪽수 : 113쪽
· 출판일 : 2019-03-22
책 소개
목차
I. 서 론 1
II. MEMS 기술 2
1. MEMS 정의 3
2. MEMS 역사 4
3. MEMS 기술요소 7
1) 벌크 미세가공 (Bulk Micromachining Technology) 9
2) 표면 미세가공(Surface Micromachining Technology) 10
3) LIGA공정 11
4) DRIE 미세가공 12
5) 3차원 미세가공 12
6) SOI 미세가공 13
7) 새로운 미세가공기술개발과 응용 13
4. MEMS 기술 응용 15
1) Micro Actuator (미세구동기) 15
2) Optical MEMS 16
3) RF MEMS 16
4) Bio MEMS 17
5) MEMS 마이크로폰 17
III. MEMS 센서 22
1. MEMS 센서의 특징 23
2. MEMS 센서의 전망 24
3. MEMS 센서의 응용분야 28
1) 자동차 산업 분야 28
2) 모바일 산업 분야 30
3) 로봇 산업 분야 32
4) 사물인터넷 분야 34
4. MEMS 센서 종류별 기술전망 37
1) MEMS 압력센서 37
2) MEMS 관성센서(가속도, 자이로) 40
3) MEMS 음향센서 44
4) MEMS 초음파센서 48
5) MEMS 자기센서 50
6) MEMS 적외선센서 54
7) MEMS 유량센서 57
8) MEMS 습도센서 58
9) MEMS 가스센서 61
IV. MEMS 시장분석 64
1. MEMS 센서 시장 수요 공급 업체 분석 65
1) 수요기업 대상 분석 66
2) 공급기업 대상 분석 66
2. MEMS 센서시장 규모 및 전망 66
1) IHS 아이서플라이 67
2) Yole Developement 67
3) 세미코리서치 68
V. MEMS 산업 70
1. MEMS 파운드리 산업 71
2. MEMS 산업 가치사슬 74
VI. MEMS 센서 산업 인프라 현황 77
1. 국외 인프라 현황 78
2. 국내 인프라 현황 79
VII. MEMS 산업 육성정책 동향 81
1. 국외 정책동향 82
1) 미국 83
2) 유럽 84
3) 일본 85
4) 중국 86
2. 국내 정책동향 86
VIII. MEMS 산업전략 88
1. IoT & Big Data 89
2. 센서와 스마트센서 90
3. 스마트센서의 활용분야 91
1) 자동차 산업 91
2) 헬스케어 산업 94
4. 스마트 센서-MEMS의 의의 97
5. MEMS 산업의 한계와 보완점 100
IX. 결 론 103
X. 부 록 106
