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책 정보
· 제목 : Tribology In Chemical-Mechanical Planarization (Paperback, 1) 
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9780367393250
· 쪽수 : 200쪽
· 출판일 : 2019-09-19
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9780367393250
· 쪽수 : 200쪽
· 출판일 : 2019-09-19
목차
Introduction, Surface Properties, Friction, Lubrication, Wear In CMP, Force Transmission, CMP Pads, Post-CMP Cleaning
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