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책 정보
· 제목 : Chemical Vapor Deposition Polymerization: The Growth and Properties of Parylene Thin Films (Hardcover, 2004)
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9781402076886
· 쪽수 : 102쪽
· 출판일 : 2003-11-30
· 분류 : 외국도서 > 기술공학 > 기술공학 > 재료과학
· ISBN : 9781402076886
· 쪽수 : 102쪽
· 출판일 : 2003-11-30
목차
1. Introduction.- 2. Deposition Equipment.- 3. Step-by-Step Guide to Depositing Parylene.- 4. Parylene-N Precursor Chemistry.- 5. Deposition Kinetics for Polymerization via the Gorham Route.- 6. Film Properties.- 7. Other CVD Polymers.- References.
