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책 정보
· 제목 : 박막공학 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788962490756
· 쪽수 : 246쪽
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 화학/금속/재료공학 > 금속재료/재료공학
· ISBN : 9788962490756
· 쪽수 : 246쪽
책 소개
박막기술의 기초가 되는 진공과학으로부터 시작하여 박막의 전자부품에서 응용에 이르기까지 박막공학의 여러 분야를 기초 개념부터 제작기술까지 기술하였으며 총 7장으로 구성하였다.
목차
제 1 장 진공의 기초 원리
1. 진공의 성질 / 2. 압력 / 3. 기체의 법칙 / 4. 기체 분자 운동 / 5. 기체의 흐름 / 6. 전도도 / 7. 표면과 기타 효과
제 2 장 진공 펌프
1. 진공펌프의 기능과 종류 / 2. 오일 회전 진공펌프 / 3. 건식 진공 펌프 / 4. 확산 펌프 / 5. 터보 분자 펌프 / 6. 게터펌프 / 7. 스퍼터 이온 펌프 / 8. 섭션펌프 / 9. 크라이오 펌프
제 3 장 진공 게이지
1. 진공 게이지 / 2. 열전도형 게이지 / 3. 전리게이지
제 4 장 플라즈마의 이해
1. 플라즈마 / 2. 플라즈마 생성 / 3. 전·자장에서 하전입자의 운도 / 4. 플라즈마 특성 / 5. 플라즈마 생성장비 / 6. 플라즈마 식각
제 5 장 박막의 제조 방법
1. 진공 증착 / 2. 스퍼터링법 / 3. DC 스퍼터링 / 4. RF 스퍼터링 / 5. 미그네트론 스퍼터링 / 6. CVD
제 6 장 박막 측정
1. AFM(원자현미경)
제 7 장 플라즈마 시뮬레이션
1. 플라즈마 장비 설계 요소 / 2. 플라즈마 모델링 / 3. 전자장 해석 / 4. 가스 유동 해석 / 5. 열전달 해석 / 6. 기상 화학 반응 / 7. 표면 화학 반응 / 8. 디자인 해석 사례 및 유의점
참고문헌
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