2012년 신성장동력 장비산업 동향과 기술개발 전략

제 1장 7대 신성장동력 장비산업과 반도체산업 동향
1. 7대 신성장동력 장비산업 정책동향
1-1. 7대 신성장동력 장비산업 개요
1-2. 신성정동력 7대 장비산업 지원과제 선정
1-3. 2011년 신성장동력 장비경쟁력 강화 세부 과제 현황
1-4. 7대 신성장동력 장비산업 로드맵과 전략 품목선정
2. 반도체 개요와 산업동향
2-1. 반도체 개념 및 특성
2-2. 반도체산업 현황 및 전망
2-3. 2011년도 주요 반도체 기술개발 현황
3-1. 바이오산업의 개요
3-2. 국내 바이오산업 현황

제 2장 7대 반도체, 바이오산업 장비관련 핵심기술 개발전략
1. EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사 기술 개발
1-1. 개요
1-2. 연구목표 및 내용
1-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
2-1. 개요
2-2. 연구목표 및 내용
2-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
3. 차세대 메모리용 3D 적층 신소자 및 핵심 소재 공정 기술 개발
3-1. 개요
3-2. 연구목표 및 내용
3-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
4. 초미세 고신뢰성 배선기술 개발
4-1. 개요
4-2. 연구목표 및 내용
4-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
5. 메디바이오 진단기기 동향
5-1. 개요
5-2. 연구목표 및 내용
5-3. 연구기간 및 연구비
5-4. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
6. 체외 진단시스템 기술개발
6-1. 개요
6-2. 연구목표 및 내용
6-3. 연구기간 및 연구비
6-4. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과

제 3장 7대 반도체, 바이오장비 관련 기술개발 과제 및 업체현황
1. 반도체장비 관련 기술개발 과제
1-1. 반도체 Photo 공정용 초정밀 Scan Chuck 개발
1-2. FCB Singulator (Half to PCS) 국산화 개발
1-3. 탄탈 고분자 pellet welding machine 국산화 개발
1-4. 고해상도 AFVI 개발
1-5. MLCC Belt-B 생산성 증대 기술개발
1-6. MLCC 소성용 Roller Hearth Kiln 국산화 개발
1-7. fcCSP 전기검사기 국산화 개발
1-8. 솔더 볼 공급장치에 대한 기술개발
1-9. 미세 연마용 압전소자 Head Unit 기술개발
1-10. 가스 조절 용이한 초고온용 홀효과 측정장비 기술개발
1-11. 초정밀 Single Beam BGA Socket 개발
1-12. 병렬테스트를 위한 다 채널 반도체 주 검사 장비 개발
1-13. 전기분해 응용기술을 이용한 차세대 번인보드 세정 및 검사장치 개발
1-14. MEMS probe card용 건식 세정 기술 및 시스템개발
1-15. Single Cleaner IPA Dryer 개발
1-16. 고효율 실리콘 태양전지용 나노박막공정 및 양산성 ALD 장비 개발
1-17. 고효율 실리콘 태양전지용 Boron(BBr3) Doping Furnace 장비 및 공정 개발
1-18. 1005 초소형 적층 세라믹 콘덴서 외부전극 도포 시스템 개발
1-19. 지그비를 이용한 모바일 트위터개발
1-20. PCB 인쇄(SR:Solder Resist)공정 표면 처리 설비 개발
1-21. 양면패키지 검사 장비 개발
1-22. 20nm급 및 450mm 반도체 공정용 차세대 PECVD ACL 장비 개발
1-23. 반도체용 패키지 박판기판용 비접촉 건조시스템 개발
1-24. 차세대 모듈형 프로브 카드 개발
1-25. 30nm급 Gap Fill용 Flowable Oxide 증착 장비 개발
1-26. 나노 반도체장비 원천기술 상용화 총괄관리 기술개발
1-27. 450mm 장비 플라즈마 공정 해석용 고신뢰성 시뮬레이터 개발
1-28. 저손상 나노소자 공정을 위한 450mm 장비 플라즈마 원천기술 개발
1-29. 450mm 장비용 정전척 제작을 위한 요소 기술 개발
1-30. Boron Doped Si용 LP-CVD 증착 장비 개발
1-31. 300mm 급 플라즈마 도핑장비 개발
1-32. 25nm급 Oxide Trench Etcher 개발
1-33. 25nm급 Poly Etcher 개발
1-34. FCB Bump 110㎛ Pitch 이하 3D AFVI 국산화 개발
1-35. SOP/SOT/Dpak 검사용 High Speed Test Handler 개발
1-36. Stick Free 3000V ESC Power Supply 기술개발
1-37. 웨이퍼 레벨 다품종 가변양산라인 플라즈마 시스템 기술개발
1-38. 반도체 CMP공정 생산성 향상 장치 개발
1-39. 다중연결형 카메라를 이용한 SMT 비전 검사기 기술개발
1-40. Auto Splice System 기술개발
1-41. D램 MEMS Probe Card 용 Wire PCB 개발
1-42. 광전반도체용 POCl3 공정 Furnace 장비 개발
1-43. 차세대 Memory 저장 장치 SSD(Solid State Disk)의 고속 자동화 검사장치 기술개발
1-44. 반도체제조장치 Wet 공정용 용액의 화학조성 모니터링장치개발
1-45. 7세대 이상 대형 In-line Type Sputter Target Cooling Unit 개발
2. 바이오장비 관련 기술개발 과제
2-1. 표준형/맞춤형 스캐폴드 제작기술 개발
2-2. 친환경 연속식 광펄스 살균 시스템 개발
2-3. 건조지문을 해결한 특수 코팅 광학부 탑재 세계 초소형 지문 인식기
2-4. 지능형 자동세포배양 시스템 개발
2-5. 전처리공정을 단순화한 휴대용 농약검출기 개발
2-6. 미량 바이오 시료 분석용 다채널 분광 분석기 개발
2-7. 고성능 액체크로마토그래프용 고정밀 미량시료 자동주입기의 개발
2-8. 고감도 휴대형 정량분석기 및 이를 이용한 중증질환의 자가 모니터링 시스템의 개발
2-9. 고기능성 ion source module을 포함한 의료용 질량분석시스템 개발
2-10. CMOS 이미지센서 내장형 EOC 기반 현장 적용 식중독균 신속검출용 BIT 융합 포켓형 바이오센서 개발
2-11. 차세대 염기서열 분석기 개발
2-12. 미세조류용 저가의 고생산성 광 생물반응기 개발
2-13. 스마트 약물전달 스텐트 개발
2-14. 면역응집반응 산란광 및 형광 측정 휴대용 광학센서 개발
2-15. Bio Sensor 제작을 위한 Multi-Generator Plasma System
2-16. 휴대용 형광 DNA 칩 레이저 스캐너
2-17. 형광입자를 이용한 HPAI 바이러스 H type 고속 검사 시스템 및 진단제 개발
2-18. Nano silica 담체를 이용한 cephalosporin-C deacetylase의 고정화 기술 개발
2-19. Fluorescent complex compounds 및 광합성미생물을 이용한 이산화탄소 처리시스템 개발
2-20. BT실험환경에 필요한 전자동 MICRO PLATE FILL &WASHER 개발
2-21. Fuzzy 제어 미생물 배양 임베디드 시스템 개발
2-22. 세포 대량 생산을 위한 일회용 배양장치 개발
2-23. 미세조류 유래 고부가가치 Astaxanthin 생산을 위한 초임계 추출장치 및 광생물반응기
2-24. LMO 및 인체위해병원체의 취급을 위한 완전배기형 생물안전작업대 개발
2-25. 저온 광플라즈마를 이용한 실험동물 사육용 개별환기 케이지 시스템(MVCS) 개발
2-26. 세포치료제 제조를 위한 재생의학시스템 개발
2-27. PDMS 기반의 고효율 세포 배양 및 관찰용 랩온어칩 개발
2-28. 면역스트립 자동화 분석시스템 개발
2-29. DNA 칩 실험을 위한 자동화 hybridization 시스템 개발 및 상품화
2-30. 하, 폐수처리장 고도처리 성능개선을 위한 미생물 핵입자 제조기술
2-31. 무균파리 사육 장비를 이용한 의료용 무균구더기 대량생산방법
2-32. 수산양식 산업화를 위한 고기능성 농축 및 냉동 먹이생물 개발 및 상품화
2-33. 라이신 생산에 관여하는 OAA decarboxylase 유전자 in silico 탐색 및 실험적 규명
2-34. 알칼리 안정성이 우수한 다기능 약품 및 친환경 공정 기술 개발
2-35. 열대류 방식 저전력 고속 PCR 모듈 개발
2-36. 기계학습법을 이용한 펩타이드의 소장통과 예측 시스템
2-37. 태양광을 이용한 친환경 전기 충격식 봉독 채집장치 개발
2-38. 휴대단말용 잔류농약 검출 생화학 센서 시스템 개발
2-39. 바이오나노촉매를 이용한 글리세롤카보네이트/유도체 합성 공정 개발
2-40. Bio Medical Cell Culture를 위한 Micro Cell Reactor Module 개발
2-41. 온도제어 및 살균기능을 갖춘 다종 미생물 배양장치 개발
2-42. 천연형 재조합 혈액응고 9인자 생산 공정 기술 개발
2-43. 유동공간 생물제어시스템
2-44. 뉴로-퍼지 알고리즘을 이용한 수정란 및 혐기성 미생물, 세포배양을 위한 Multi GAS Incubator 개발
2-45. 음식물쓰레기를 이용한 Bio.열 에너지 회수장치 고안
2-46. Bio Safety Cabinet의 개발
2-47. 발효식품(주류)의 청징화 및 발효균분리를 위한 세라믹 분리막 및 모듈의 개발
2-48. 관류(perfusion)배양 시스템을 이용한 고효율 동물세포 배양공정 개발
2-49. 유비쿼터스 센서 네트워크기반의 GMP 생물공정 통합제어 및 모니터링 시스템 개발
2-50. 고상배양을 통한 베타글루칸의 생산기술개발
2-51. 고지방 기능성 식품의 초미분말생산을 위한 자동제어분쇄시스템개발
3. 연구개발 참여 업체 현황
3-1. 반도체장비분야
3-2. 바이오장비분야

제 4장 7대 부록[참고자료]
1. 반도체 분야 기술개발 로드맵
1-1. 시스템반도체
1-2. 특화디바이스
1-3. 메모리
1-4. 공정, 장비, 소재
2. 분야별 단계별 기술개발 계획
2-1. 시스템 반도체
2-2. 특화디바이스
2-3. 메모리
2-4. 공정, 장비, 소재