MEMS의 기초 책 가격비교

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책 정보

· 제목 : MEMS의 기초
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 기계공학 > 기계설계/공작
· ISBN : 9788991182981
· 쪽수 : 650쪽

CHAPTER 01 소개
CHAPTER 02 미세 제작 기술
CHAPTER 03 전기적ㆍ기계적 필수 개념의 소개
CHAPTER 04 정전기적 센싱과 액추에이션
CHAPTER 05 열 센싱과 액추에이션
CHAPTER 06 압저항 센서
CHAPTER 07 압전 센싱 및 액추에이션
CHAPTER 08 자기 액추에이션
CHAPTER 09 센싱과 액추에이션 요약
CHAPTER 10 벌크 미세 가공 기술과 실리콘 비등방성 식각
CHAPTER 11 표면 미세 가공
CHAPTER 12 폴리머 MEMS
CHAPTER 13 마이크로 유체공학의 응용
CHAPTER 14 주사 프로브 현미경을 위한 기기
CHAPTER 15 광학 MEMS
CHAPTER 16 MEMS 기술경영
부록
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