산업가스 특수가스 총서 1

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머리말 6

chapter 1 가스의 분류 및 정의 21

chapter 2 산업가스(Industrial Gases) 알아보기 29
2.1 공기분리기의 분리공정 33
2.1.1 초저온 공기분리기(Cryogenic Air Separation) / 34
2.2 공기분리기 안전 45
2.3 희소가스(Rare Gases) 50
2.3.1 헬륨(Helium) / 50
2.3.2 네온(Neon) / 53
2.3.3 아르곤(Argon) / 55
2.3.4 제논(Xenon) / 58
2.3.5 크립톤(Krypton) / 60

chapter 3 특수가스(Specialty Gases) 알아보기 65
3.1 반도체 제조공정별 특수가스 71
3.1.1 다결정 실리콘 제조 / 71
3.1.2 에피탁시(Epitaxy) / 72
3.1.3 에칭(Etching) / 73
3.1.4 클리닝(Cleaning) / 73
3.1.5 이온주입(Ion Implantation) / 74
3.1.6 도핑(Doping) / 75
3.1.7 어닐링(Annealing) / 76
3.1.8 패시베이션(Passivation) / 78
3.1.9 블랜켓팅(Blanketing) / 78
3.2 메모리 반도체 79
3.3 특수가스의 제조공정 80
3.3.1 순수가스 / 80
3.3.2 혼합가스 / 84
3.4 특수가스에 사용되는 용기 88

chapter 4 가스의 유해성이란? 91
4.1 불연성(Non-flammable) 93
4.2 가연성(Flammable) 97
4.3 산화성(Oxidizer) 100
4.4 부식성(Corrosive) 103
4.5 독성(Toxic) 105
4.5.1 독성물질의 체내 침입경로 / 110
4.5.2 독극물의 생체조직에 대한 영향 / 115
4.5.3 독성학 연구 / 115
4.6 물질안전보건자료(MSDS)란? 120
4.6.1 물질안전보건자료(MSDS)의 이해 / 120
4.6.2 물질안전보건자료 게시·비치 방법 / 121
4.6.3 화학물질 관리요령 게시 / 122
4.6.4 대상화학물질 경고표시 / 122
4.6.5 물질안전보건자료(MSDS) 교육 / 125

chapter 5 가스 설비의 안전 설계 및 취급 129
5.1 실린더 캐비넷(Cylinder Cabinet) 130
5.2 가스누설검지 경보기 134
5.2.1 가스누설검지 설치 개요 및 목적 / 134
5.2.2 가스누설검지 종류 / 138
5.3 배기 및 환기설비 142
5.4 퍼지 시스템 144
5.4.1 진공퍼지(Vacuum Purge) / 144
5.4.2 압력퍼지(Pressure Purge) / 148
5.4.3 스위프퍼지(Sweep Purge) / 150
5.4.4 사이폰퍼지(Siphon Purge) / 152
5.4.5 퍼지 시스템 고려사항 / 153
5.5 저장창고 155
5.5.1 중화설비·이송설비의 설치 / 155
5.5.2 용기보관 장소 / 155
5.5.3 가스설비실·저장설비실 / 156
5.6 재질 선정 161
5.6.1 재질 선정 시 고려사항 / 161
5.6.2 일반적인 금속재료 / 162

chapter 6 독성가스 제독설비 175
6.1 제독설비 일반사항 177
6.2 제독방법의 선정 178
6.2.1 연소처리(Combustion) / 180
6.2.2 습식처리(Wet Scrubber) / 184
6.2.3 건식처리(Dry Scrubber) / 191
6.2.4 Thermal Wet Type Scrubber / 197
6.2.5 Burn Wet Type Scrubber / 198
6.2.6 조합형 / 199
6.3 제독설비의 구성 200
6.4 제독설비의 재질 203
6.4.1 재질선정 시 주의사항 / 203
6.4.2 재질선정 목적 / 204
6.5 공정용 제독설비와 비상용 제독설비의 결정 205
6.6 제독설비의 처리능력 207
6.6.1 독성가스 누출 조건 / 207
6.6.2 독성가스 누출량 계산 / 208
6.6.3 사용시설의 누출 모드 / 215
6.7 제독설비에 필요한 보호구 216
6.7.1 보호구의 종류와 수량 / 216
6.7.2 보호구의 보관 및 장착훈련 / 217
6.8 제독설비의 성능 218
6.8.1 제독설비의 기준 / 218
6.8.2 제독설비의 제독장치 기준 / 218
6.8.3 제독설비의 성능 / 220
6.9 제독설비의 유지관리 222
6.9.1 제독설비 관리 / 223
6.9.2 제독설비 안전점검 / 224
6.9.3 제독설비 고장의 유형 / 225
6.10 각종 가스의 성질 226

chapter 7 각종 가스의 안전한 처리방법 233
7.1 안전한 용기처리를 위한 주요 작업 235
7.2 가스의 처리에 있어서 교육과 안전 236
7.2.1 교육 / 236
7.2.2 교육절차 / 236
7.2.3 교육범위 / 237
7.2.4 안전 / 238
7.2.5 안전 체크리스트 / 239
7.3 처리 방법의 선택 240
7.3.1 가스 처리 방법의 선택 / 240
7.3.2 가스의 특성 / 241
7.3.3 지역 조건 및 사용 조건 / 241
7.3.4 가스의 용량 / 241
7.3.5 가스 처리의 체크리스트 / 242
7.4 가스 처리 방법 243
7.4.1 처리 방법에 대한 기본 원칙 / 243
7.4.2 처리 방법 목록 / 243
7.4.3 처리 방법 / 244
7.5 가스특성과 추천되는 처리 방법 264
7.5.1 서론 / 264
7.5.2 표 7-3에 대한 설명 / 264
7.6 용기 내용 식별 267
7.6.1 소개 / 267
7.6.2 제품 이름에 의한 식별 / 267
7.6.3 용기 색깔에 의한 식별 / 268
7.6.4 위험 라벨에 의한 식별 / 268
7.6.5 용기 타입에 의한 식별 / 268
7.6.6 밸브 타입에 의한 식별 / 268
7.6.7 용기 마킹에 의한 식별 / 269
7.6.8 용기 내용물을 식별하기 위한 순서 / 269
7.7 사용할 수 없는 용기의 처리 270
7.7.1 개요 / 270
7.7.2 빈 용기의 명확한 표기 / 270
7.7.3 용기 퍼지 / 271
7.7.4 밸브 탈착 / 271
7.7.5 잔류 물질의 잠재적 위험표기 / 272
7.7.6 사용하지 못하는 용기의 폐기 / 272

chapter 8 방폭 이해하기 309
8.1 화재 또는 폭발의 요소 311
8.2 용어의 정의 312
8.3 위험장소의 구분 314
8.4 방폭구조의 종류 317
8.5 폭발 가스의 발화도 및 전기설비의 표면 온도 320
8.6 방폭기호의 일반적인 표기 322
8.7 국내 법규에 의한 방폭기기 선정 323
8.7.1. 산업안전보건법 / 323
8.7.2 고압가스안전관리법 / 323
8.7.3 소방법 / 324
8.8 방폭 전기기의 수입 325
8.9 IEC 기준의 폭발 위험 범위 계산 329
8.9.1 방폭 계산서 예 1 / 329
8.9.2 방폭 계산서 예 2 / 332

chapter 9 밸브 이해하기 337
9.1 밸브의 기능 341
9.2 밸브 각 부위 342
9.3 개폐에 사용되는 밸브 348
9.4 유량 조절에 사용되는 밸브 353
9.5 역류 방지 밸브 357
9.6 토출용 밸브 361
9.7 트림(Trim) 365
9.8 특수가스 용기용 밸브의 종류와 구조 368
9.8.1 용기 밸브 / 368
9.8.2 용기 밸브의 종류 / 369
9.8.3 밸브의 구조 / 369
9.8.4 밸브의 종류 / 372
9.8.5 밸브의 안전변(Pressure Relief Devices Type) / 374
9.8.6 밸브의 재검사 / 375
9.8.7 이음매 없는 용기의 재검사 / 375
9.8.8 사고사례 / 379

chapter 10 개인보호구(Personal Protective Equipment) 정리 383
10.1 범위와 목적(Scope and Purpose) 385
10.2 일반적인 요구사항 386
10.2.1 책임 / 386
10.2.2 위험성 평가 / 386
10.2.3 구비조건 / 387
10.2.4 유지 보수 / 387
10.2.5 보관 / 387
10.2.6 교육 훈련 387
10.2.7 사용자 / 388
10.2.8 기록 / 388
10.2.9 필요한 개인보호구 지정 / 388
10.2.10 개인보호구 선택 / 388
10.2.11 개인보호구 종류 / 389
10.3 개인보호구 평가 및 사양 390
10.3.1 청각 보호구 / 391
10.3.2 시력 및 안면 보호구 / 394
10.3.3 호흡 보호구 / 397
10.3.4 머리 보호구 / 405
10.3.5 추락 방지 보호구 / 409
10.3.6 손 보호구 / 411
10.3.7 발 보호구 / 414
10.3.8 보호 의류 / 416
10.4 특수가스의 개인보호구 선정표(추천) 419

chapter 11 COMPGEAP 소개 및 국내외의 화학사고 대응체계 및 관리제도의 현황 소개 425
11.1 COMPGEAP(압축가스 비상조치계획) 소개 427
11.2 국내외의 화학사고 대응체계 및 관리제도의 현황 소개 460
11.2.1 국외 현황 / 460
11.2.2 국내 현황 / 470

chapter 12 산화성 물질(산소 등) 설계, 취급 안전의 모든 것 519
12.1 산화성 분위기에서 연료로 사용될 수 있는 물질 523
12.2 점화 526
12.3 산소시스템의 배관(Piping) 및 연결구(Fitting) 529
12.3.1 가스압력 / 530
12.3.2 가스속도 / 531
12.3.3 산소배관 재질선정 순서도 / 538
12.4 산소시스템의 밸브 재질 선정 539
12.4.1 차단용 밸브(Isolation Valve) / 539
12.4.2 우회 시스템(Bypass System) / 540
12.5 산소시스템의 비금속 재질 선정 542

chapter 13 TFT-LCD 제조공정의 가스 안전 545
13.1 개요 546
13.2 특수가스의 위험성 547
13.2.1 실란(Silane, SiH4) / 547
13.2.2 포스핀(Phosphine, PH3) / 549
13.2.3 Hydrogen(H2) / 550
13.2.4 암모니아(Ammonia, NH3) / 551
13.2.5 삼불화질소(Nitrogen trifluoride, NF3) / 551
13.2.6 염소(Chlorine, Cl2) / 551
13.2.7 불소(Fluorine, F2) / 552
13.3 취급에 있어서의 모범 사례 554
13.3.1 실란(Silane) / 554
13.3.2 불소(Fluorine) / 555
13.3.3 그 외의 다른 특수가스들 / 556
13.4 사고사례 및 비상대응 557
13.4.1 실란 / 557
13.4.2 수소 / 558
13.4.3 삼불화질소(NF3) / 558
13.4.4 염소(Cl2) / 559

부록 561
부록 1 N2O 562
부록 2 SiH4 602
부록 3 안전진단 예 639
부록 4 유용한 환경안전 분야 체크리스트 예제 688

참고문헌 711