국내외 플라즈마 기술 산업전망보고서

I. 서론 1

II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3

나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5

다. 플라즈마 보관 6

III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10

나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15

IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 21

V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 30

나. 플라즈마 응용 산업 현황 34
1) 반도체 산업 34
2) 디스플레이 산업 38
3) 환경 산업 38

다. 특허 현황 40
1) 국내 41
2) 국외 54
3) 특허분쟁 67

VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 70
가. 국내 70
1) 국가핵융합연구소 (NFRI) 71
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 74
3) 에이피티씨 76
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 78
5) 피에스엠 (PSM) 81
6) 기타 82

나. 국외 83
1) Plasma Ionic 84
2) relyon plasma 86
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 89
4) Nordson March 92
5) Plasmatreat 94

VII. 결론 97

VIII. 참고문헌 100