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책 정보
· 제목 : 최신 LSI프로세스 기술
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 기계공학 > 응용기계
· ISBN : 9788933601884
· 쪽수 : 782쪽
· 출판일 : 1994-01-01
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 기계공학 > 응용기계
· ISBN : 9788933601884
· 쪽수 : 782쪽
· 출판일 : 1994-01-01
목차
001. 웨이퍼 프로세스 기술 총론
002. 기본 프로세스 기술
003. 복합 프로세스 기술
004. 프로세스 기술의 현장
005. 프로세스 기술의 전망
