클린룸 설비

Chapter 01. 클린룸개요
1. 클린룸의 정의
2. 클린룸의 분류
3. 클린룸의 공기청정도 클래스(Class)
4. 입자별 분진발생량
5. 클린룸 규격
6. 클린룸의 방식 및 특성
7. 클린룸 에어필터(Clean Room Air Filter)
8. 클린룸 부속장치

Chapter 02. 클린룸 계획
1. 클린룸 기본계획
2. 클린룸 재료선정 및 설계시 고려사항
3. 클린룸 공조설비 계획

Chapter 03. 클린룸 시공
1. 시공 전 준비사항
2. 클린룸 내장공사
3. 클린룸 유틸리티(Utility)공사
4. 냉열원 및 공조장비 설치공사

Chapter 04. 클린룸 TAB
1. 클린룸 TAB개요
2. TAB 진행 절차
3. TAB 본작업 수행
4. 최종검사 및 보고서 작성

Chapter 05. 클린룸 운영
1. 클린룸 유지관리 일반사항
2. 클린룸 유지관리
3. 클린룸 공정실(FAB)의 관리
4. 클린룸의 환경(Environmental)관리
5. 클린룸의 운전 및 점검기록

부록. 클린룸 건설 실무
1. 클린룸 공사의 특성
2. 클린룸 작업인원의 필요조건
3. 클린룸 작업관리 기본원칙
4. 클린룸 건설 공정
5. 클린룸 건설 단계별 청정관리