반도체 소자 공정기술의 기초 책 가격비교

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책 정보

· 제목 : 반도체 소자 공정기술의 기초
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788970888989
· 쪽수 : 806쪽

1 반도체 산업의 전망
2 반도체 물질의 특성
3 소자기술
4 실리콘과 웨이퍼 제조
5 반도체 제조공정에서의 화학물질
6 웨이퍼 제조공정 설비에서의 오염 제어
7 도량형학과 결함 검사
8 공정실의 가스제어
9 IC 제조공정의 개관
10 산화공정
11 증착법
12 금속화 공정
13 포토리소그래피: 부드러운 굽기를 위한 증기 프라임
14 포토리소그래피 정렬과 노출
15 포토리소그래피: 포토레지스트 현상과 개선된 리소그래피
16 식각
17 이온주입
18 CMP
19 웨이퍼 검사
20 조립과 포장

부록1 화학물질과 안전
부록2 청정실에서의 오염의 통제
부록3 단위
부록4 산화 농도의 기능에 따른 색
부록5 포토 레지스트 화학의 개관
부록6 식각 화학

저자소개

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<반도체 소자 공정기술의 기초>

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서울대학교 사회복지학과(문학사) 미국 워싱턴대학교 사회사업대학원(사회사업학 석사) 미국 케이스웨스턴 대학교 응용사회과학대학원(사회복지학 박사) 미국 서던캘리포니아대학교(USC) 객원교수 미국 캘리포니아주립대학교 로스앤젤레스 캠퍼스(UCLA) 객원교수 한국사회복지학회 회장, 한국노년학회 회장, 국제노년학회 아태지역 회장 대통령직속 저출산ㆍ고령사회 위원회 위원 한양대학교 공공정책대학원 석좌교수 대통령(제18대 박근혜 대통령) 비서실 고용복지 수석비서관 현재 서울대학교 사회복지학과 명예교수 한국노인인력개발원 원장 국제노년학ㆍ노인의학회 부회장 겸 사무총장 ·주요 저서 및 논문 《사회복지조사방법론》,《사회복지자료분석론》,《노인복지학》(공저) “미국의 노인복지에 있어서 사회복지와 실버산업의 역할” 등

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