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책 정보
· 제목 : 반도체 공정기술 입문
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788970956060
· 쪽수 : 234쪽
· 출판일 : 1990-01-01
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788970956060
· 쪽수 : 234쪽
· 출판일 : 1990-01-01
목차
001. 반도체 물리 I 002. 반도체 물리 II 003. 웨이퍼 제조 I 004. 웨이퍼 제조 II 005. 에피택샬 증착 I 006. 에피택샬 증착 II 007. 산화 I 008. 산화 II 009. 불순물 주입 및 재분포I 010. 불순물 주입 및 재분포 II 011. 포토 마스킹 012. 화학증착 013. 금속막 증착 014. 소자공정 015. 소자 016. 오염방지 017. 최근의 실리콘 기술 018. 非 실리콘 기술
