플라스마 물리 입문

제1장 Plasma 개념과 용어
1-1 Plasma 정의 1
1-2 Plasma에 사용되는 용어들
1-3 Plasma 정의 2

제2장 기본 방정식
2-1 Maxwell 방정식
2-2 Gauss 방정식
2-3 Ampere 방정식
2-4 Faraday 방정식
2-5 Boltzmann 방정식
2-6 유체방정식

제3장 입자 운동
3-1 입자 이동 현상
3-2 Collisions

제4장 Sheath와 Capacitive Discharge
4-1 DC Sheath
4-2 Capacitive Discharge
4-3 Langmuir Probe

제5장 ICP Discharge, Matching
5-1 ICP 방전의 종류
5-2 Skin Layer
5-3 Power 전달
5-4 Impedance Matching

제6장 Wave
6-1 Standing Wave
6-2 Wave Guide
6-3 ECR Plasma Source

부록
부록 A Maxwell 속도 분포 함수
부록 B Boltzmann 방정식의 충돌 항
부록 C 유체방정식
부록 D Magnetic Moment

참고문헌