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책 정보
· 제목 : 반도체 드라이 에칭 기술
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791156008828
· 쪽수 : 240쪽
· 출판일 : 2021-10-12
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9791156008828
· 쪽수 : 240쪽
· 출판일 : 2021-10-12
목차
1장 반도체 집적회로의 발전과 건식식각 기술
2장 건식식각(Dry Etching)의 메커니즘
3장 각종 재료의 식각
4장 건식 식각장치
5장 건식식각에 의한 손상(Damage)
6장 새로운 식각기술
7장 원자층 식각(ALE)
8장 건식식각 기술의 과제와 전망
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