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책 정보
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 산업공학
· ISBN : 9791161825045
· 쪽수 : 130쪽
· 출판일 : 2021-07-02
책 소개
목차
I. 서 론 1
II. MEMS 기술 4
1. MEMS 정의 5
2. MEMS 역사 6
3. MEMS 기술요소 10
1) 벌크 미세가공 (Bulk Micromachining Technology) 11
2) 표면 미세가공(Surface Micromachining Technology) 12
3) LIGA 공정 13
4) DRIE 미세가공 14
5) 3차원 미세가공 14
6) SOI 미세가공 15
7) 새로운 미세가공기술개발과 응용 15
4. MEMS 기술 응용 17
1) Micro Actuator (미세구동기) 17
2) Optical MEMS 18
3) RF MEMS 18
4) Bio MEMS 19
5) MEMS 마이크로폰 19
III. MEMS 센서 24
1. MEMS 센서의 특징 25
2. MEMS 센서의 전망 26
3. MEMS 센서의 응용 분야 30
1) 자동차 산업 분야 30
2) 모바일 산업 분야 32
3) 로봇산업 분야 34
4) 사물인터넷 분야 36
4. MEMS 센서 종류별 기술 전망 39
1) MEMS 압력센서 39
2) MEMS 관성센서(가속도, 자이로) 42
3) MEMS 음향센서 46
4) MEMS 초음파센서 50
5) MEMS 자기센서 52
6) MEMS 적외선센서 56
7) MEMS 유량센서 59
8) MEMS 습도센서 60
9) MEMS 가스센서 63
IV. MEMS 시장분석 66
1. MEMS 센서 시장 수요 공급 업체 분석 69
1) 수요기업 대상 분석 69
2) 공급기업 대상 분석 69
2. MEMS 센서시장 규모 및 전망 70
1) Marketsandmarkets 70
2) IHS 아이서플라이 75
3) Yole Developement 75
4) 세미코리서치 78
V. MEMS 산업 81
1. MEMS 파운드리 산업 82
2. MEMS 산업 가치사슬 85
3. MEMS 기업 동향 89
VI. MEMS 센서 산업 인프라 현황 94
1. 국외 인프라 현황 95
2. 국내 인프라 현황 96
VII. MEMS 산업 육성정책 동향 98
1. 국외 정책 동향 99
1) 미국 100
2) 유럽 101
3) 일본 102
4) 중국 103
2. 국내 정책동향 103
VIII. MEMS 산업전략 105
1. IoT & Big Data 106
2. 센서와 스마트센서 107
3. 스마트센서의 활용분야 108
1) 자동차 산업 108
2) 헬스케어 산업 111
4. 스마트 센서-MEMS의 의의 114
5. MEMS 산업의 한계와 보완점 117
IX. 결 론 120
X. 부 록 122
