스퍼터(Sputter) 및 스퍼터링(Sputtering)

<제목 차례>

1. 서론 1

2. 스퍼터기술 3
가. 스퍼터란? 3
1) 작동원리 3
2) 장단점 3
3) 스퍼터링 방식과 종류 5

3. 스퍼터 연구동향 및 시장동향 25
가. 스퍼터 연구 동향 25
1) 스퍼터링 공법 연구 25
2) 박막재료 다양화 연구 30
나. 기술 분석 34
1) 적용분야 34
다. 스퍼터 산업 시장 동향 54
라. 국내 기업체 동향 58
1) 스퍼터링 산업회사들 58
2) 스퍼터링 기술사용 회사들 72

4. 결론 76

<표 차례>

<표 1> 반응성 스퍼터링을 통해 만들어지는 화합물 15
<표 2> 자동차용 윈도우 필름 산업 특징 47
<표 3> 건축용 윈도우 필름 산업 특징 50
<표 4> 4P 분석 57
<표 5> KORONATM PVD600_Advanced Package Process 제품 특성 59
<표 6> KORONATM PVD600_Advanced Package Process 명세서 59
<표 7> KORONATM PVD 600 & 1000_FAB Process 제품특성 60
<표 8> KORONATM PVD 600 & 1000_FAB Process 60
<표 9> In line Sputter (LST) 특징 및 성능 62
<표 10> In line Sputter (LST) 특징 및 성능 63
<표 11> SSI Series 64
<표 12> SSC Series 64
<표 13> In Line Sputter의 기술 및 특성 66
<표 14> Roll To Roll Sputtering System의 특성 70
<표 15> In-Line Type System 70
<표 16> Batch Type Sputtering System 71

<그림 차례>

<그림 1> 도식화된 스퍼터링 작동 원리 3
<그림 2> 직류 2극 스퍼터링 장치 6
<그림 3> 직류 3극 스퍼터링 장치의 개략도 8
<그림 4> RF 스퍼터링 시스템 10
<그림 5> 평면 마그네트론 타겟의 개략도 11
<그림 6> 마그네트론 효과의 원리 12
<그림 7> Permanent magnet을 사용한 평면 마그네트론 타겟 단면도 12
<그림 8> 원통형(Cylindrical)과 평면형(Planar) 마그네트론 스퍼터링 시스템 13
<그림 9> 타겟 소재별 스퍼터링율 14
<그림 10> 마그네트론 이온빔 보조 스퍼터링 장치 19
<그림 11> 마그네트론 듀얼건 스퍼터링 장치 20
<그림 12> 이온빔 스퍼터링 장치(Ion Beam Sputter) 21
<그림 13> 듀얼 이온빔 스퍼터링 장치 (Dual Ion Beam Sputter) 22
<그림 14> 플라즈마 박막 증착장치 시작품 28
<그림 15> 티이에스 6세대 이상 LED 패널 라인용 진공 로봇 29
<그림 16> Passive Matrix LCD 35
<그림 17> STN LCD 구조 36
<그림 18> TN LCD와 STN LCD 비교 36
<그림 19> TFT-LCD 구조 37
<그림 20> TFT 공정 38
<그림 21> Cell 공정 39
<그림 22> 모듈공정 39
<그림 23> 태양전지의 소재에 따른 분류 41
<그림 24> CIGS 박막 형성기술; 동시증발법 43
<그림 25> CIGS 박막 형성기술; 전구체 셀렌화 44
<그림 26> 국내 자동차용 윈도우 필름 시장전망 48
<그림 27> 세계 자동차용 윈도우 필름 시장전망 48
<그림 28> 국내 건축용 윈도우필름 시장전망 52
<그림 29> 세계 건축용 윈도우필름 시장전망 52
<그림 30> 글로벌 스퍼터 코팅 시장 현황 54
<그림 31> 스퍼터 장비 SWOT 분석 55
<그림 32> 스퍼터 장비 SWOT 분석 56
<그림 33> In line Sputter (LST) 62
<그림 34> In line Sputter (LSF) 62
<그림 35> SSI Series 63
<그림 36> SSC Series 64
<그림 37> In-Line Sputter 66
<그림 38> In Line Type Sputter 67
<그림 39> Roll to Roll Type Sputter 67
<그림 40> Cluster Type Sputter 68
<그림 41> Roll To Roll Sputtering System 69
<그림 42> In-Line Type System 70
<그림 43> Batch Type Sputtering System 71
<그림 44> SKC 윈도우 필름 72
<그림 45> 스퍼터링 방식 74
<그림 46> 스퍼터링 성능 74