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책 정보
· 제목 : 플라즈마 식각기술
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 자연과학계열 > 물리학
· ISBN : 9791188743001
· 쪽수 : 400쪽
· 출판일 : 2012-02-01
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 자연과학계열 > 물리학
· ISBN : 9791188743001
· 쪽수 : 400쪽
· 출판일 : 2012-02-01
목차
1장 서론
2장 기체의 특성
3장 가스입자간의 충돌현상
4장 플라즈마의 기초
5장 직류 플라즈마
6장 고주파 플라즈마
7장 고밀도 플라즈마
8장 플라즈마식각의 원리 및 공정인자의 영향
9장 다양한 물질의 식각
10장 플라즈마 진단기술
