반도체와 세라믹부품

제 1 장 세라믹 소재의 이용: 전자세라믹스 와 기계 구조 세라믹스
1.1 개요 1
1.2 전자세라믹스 2
1.2.1 개요 2
1.2.2 제품종류에 따른 전자세라믹스 분류 4
1) 절연 세라믹스 5
2) 유전 세라믹스 5
3) 압전 세라믹스 5
4) 자성 세라믹스 5
5) 반도성 세라믹스 5

1.2.3 제품 공급망에 따른 전자세라믹스 분류 6
1.2.4 산업 및 시장 분석 6
1) 전자세라믹스 시장의 니즈 분석 6
2) 산업특징 및 구조 8
3) 시장현황/전망분석 8
4) 공급망(분류)에 따른 시장분석 10
(1) 세계 업체 및 제품 현황 10
(2) 국내 업체 및 제품 현황 13

1.3 기계·구조 세라믹스 16
1.3.1 개요 16
1.3.2 기계·구조 세라믹스 분류 17
1) 반도체 산업용 기계·구조 세라믹 18
2) 기계·구조 세라믹 원료별 분류 19

1.3.3 산업환경 20
1) 산업의 특징 20
2) 산업의 구조 22

1.3.4 기술환경 25
1) 기술개발 동향 25
(1) 반도체 디스플레이 산업용 기계·구조 세라믹 25
2) 국내 기술 인프라 현황 27

1.3.5 시장 현황 29
1) 업체 현황 29
2) 전후방산업 환경 32
3) 세계시장 33
4) 국내시장 36
5) 무역현황 37

제 2 장 세라믹 부품이 사용되는 반도체 제조 공정 39
2.1 개요 39
2.2 산업동향 40
1) 차세대 반도체 세라믹소재 산업의 시장성장 추이/전망 40
2) 차세대 반도체 세라믹 소재부품 산업 현주소 41
3) 차세대 반도체 세라믹 소재산업의 경쟁 동향 42
4) 차세대 반도체 세라믹 소재 관련 동향 43
5) 차세대 세라믹 전력반도체 소자 관련 동향 44
6) 세라믹산업 유망 제품/부품 도출 46

2.3 세라믹재료에 따른 적용 공정 47
1) SiC (탄화규소, Silicon Carbide) 48
(1) SiC의 장점 48
(2) 사용배경 50
① 반도체 공정용 부품 분야 50
② 전력반도체 소자 분야 51

(3) SIC 전력반도체소자 기술개발현황 52
(4) SIC 전력반도체소자 시장전망 58

2) Al2O3(알루미나), Y2O3(이트리아) 61
3) AlN(질화 알루미늄) 62
4) SiO2(quartz, 실리카) 63

2.4 세라믹 부품이 사용되는 반도체 공정 (공정순서에 따른 정리) 64
1) 전체공정: 반도체 제조용 세라믹 기판 (substrate) 64
2) 전체공정: 세라믹 가스필터 (에칭, 증착, 베이킹 공정에 주로 사용) 64
3) 베이킹공정 부품 65
(1) 세라믹 Heater 65

4) 에칭공정 부품 66
(1) 정전척(ESC, ElecrtoStatic Chuck) 66
(2) 챔버 내 Heater 66
(3) 반도체 / MEMS 공정용 샤워헤드 66
(4) 반도체 shadow ring 66

5) CVD공정 부품 67
(1) Heater와 ESC 67

6) 테스트 공정 68
(1) 반도체 테스트 공정용 세라믹기판 68

제 3 장 CVD SiC 69
3.1 개요 69
3.2 CVD SiC의 장점 69
3.3 CVD SiC 활용공정 71
1) 고온 공정 : 확산/산화 공정, CVD 공정, ion implantation 공정 71
2) 고밀도 플라즈마 식각 공정 :에칭(etching) 공정 71
3) 저온 공정 : handling 공정 72

3.4 제조 방법에 따른 CVD SiC 종류 72
1) 반응소결 SiC 72
2) 재결정화 SiC 73
3) 벌크 CVD SiC 74

3.5 소결 SiC와 CVD SiC 비교 75
3.6. CVD SiC 응용제품 76
1) 반도체 공정용 CVD SiC ring 76
(1) CVD SiC ring 국내시장 규모 및 전망 77
(2) CVD SiC ring 해외시장 규모 및 전망 78
2) SiC 피복흑연 susceptor 79

3.7 CVD SiC 시장 현황 및 전망 81

제 4 장 반도체용 세라믹 정전척 및 히터의 산업 82
4.1 반도체 ESC 시장규모 및 기술동향 82
4.2 CVD Heater 86

제 5 장 반도체 관련 세라믹 업체 동향 89
5.1 세라믹 전력반도체소자 89
5.2 세라믹 웨이퍼 91
1) SiC 웨이퍼 91
(1) 신일철주금 Materials 91
(2) 쇼화덴코 91
(3) Cicox(사이콕스) 92
(4) C-Six사(벌크 웨이퍼에 주력/8인치화) 93
(5) 단케불사(중국) 94

2) GaAs/GaN 웨이퍼 95
(1) 스미토모전기공업 95
(2) 스미토모 화학 96
(3) 일본 가이시(NGK): GaN 웨이퍼 신규업체 97
(4) Nanowin: 중국 GaN 웨이퍼 업체 98

부록1. 반도체용 세라믹 부품 국내제조업체 100

참고문헌 115