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Silicides for Vlsi Applications

Silicides for Vlsi Applications (Hardcover)

Shyam P. Murarka (지은이)

Academic Pr

128,570원

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Silicides for Vlsi Applications

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책 정보

· 제목 : Silicides for Vlsi Applications (Hardcover)
· 분류 : 외국도서 > 과학/수학/생태 > 과학 > 물리학 > 일반
· ISBN : 9780125112208
· 쪽수 : 200쪽
· 출판일 : 1983-03-01

목차

Preface. Acknowledgements. Introduction. Properties. Thermodynamic Considerations. Formation. Oxidation. Integrated-Circuit Fabrication. Special Applications. References. Author Index. Subject Index.

저자소개

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