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책 정보
· 제목 : Pvd for Microelectronics (Hardcover) (Pvd for Microelectronics : Sputter Deposition Applied to Semiconductor Manufacturing)
· 분류 : 외국도서 > 과학/수학/생태 > 과학 > 물리학 > 일반
· ISBN : 9780125330268
· 쪽수 : 419쪽
· 출판일 : 1998-06-01
· 분류 : 외국도서 > 과학/수학/생태 > 과학 > 물리학 > 일반
· ISBN : 9780125330268
· 쪽수 : 419쪽
· 출판일 : 1998-06-01
목차
Useful Conversion Factors and Constants
Introduction
Physics of Sputtering
Plasma Systems
The Planar Magnetron
Sputtering Tools
Directional Deposition
Planarized PVD: Use of Elevated Temperature and/or High Pressure
Ionized Magnetron Sputter Deposition
PVD Materials and Processes
Process Modeling for Magnetron Deposition
Sputtering Targets
