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책 정보
· 제목 : 반도체 기술 핸드북 
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788957080108
· 쪽수 : 336쪽
· 출판일 : 2003-04-30
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788957080108
· 쪽수 : 336쪽
· 출판일 : 2003-04-30
목차
CHAPTER 1 반도체 기초 CHAPTER 2 최신 반도체 기술 CHAPTER 3 웨이퍼 생산 CHAPTER 4 클리닝 공정 CHAPTER 5 열 공정 CHAPTER 6 사진 공정 CHAPTER 7 플라즈마 공정 CHAPTER 8 CMP 공정 CHAPTER 9 패키징과 PCB CHAPTER 10 감사 및 분석 CHPATER 11 그 밖의 반도체 응용 기술 참고문헌 및 사이트 색인
저자소개
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