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책 정보
· 제목 : 3차원 측정검사 실험 (반도체.디스플레이 테스트 검사용)
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788957176146
· 쪽수 : 191쪽
· 출판일 : 2025-08-18
· 분류 : 국내도서 > 대학교재/전문서적 > 공학계열 > 전기전자공학 > 반도체공학
· ISBN : 9788957176146
· 쪽수 : 191쪽
· 출판일 : 2025-08-18
책 소개
3차원 시험검사장비인 NexMet의 체계적인 이론과 실험에 대한 이해를 돕기 위해 집필된 교재다. 장비의 근본 원리에서부터 실제 측정법, 그리고 분석 결과의 해석 및 응용까지를 폭넓게 아우르고 있다. 실제 장비를 다룰 때 반드시 필요한 개념과 경험을 함께 제공하는 데 중점을 두었다.
목차
CHAPTER 01. 광학 이론
1.1 광학의 기초
1.2 빛의 이중성
1.3 파동의 중첩
1.4 결맞음
1.5 광 결맞음 단층영상 기술
1.6 산업용 OCT 검사기술
CHAPTER 02. NexMet S/W
2.1 NexMet 제품의 소개
2.2 NexMet S/W 설명
CHAPTER 03. NexMet 동작과 측정
3.1 NexMet의 시작과 종료
3.2 3D 시험검사의 측정
3.3 3D 시험검사의 분석
CHAPTER 04. 표면 거칠기의 분석
4.1 표면 거칠기의 개요
4.2 표면 거칠기의 측정
4.3 표면 거칠기의 측정 파라미터
실험편: 3D 시험검사
Section 01. 표면 거칠기 실험
Section 02. 반도체 광학검사 실험
부록편: 표면 거칠기 부록
부록 A. 표면 거칠기의 측정 및 분석 이론
부록 B. 기술 용어
부록 C. 파라미터 자료 처리
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